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   第590期
【2013/1/17 國立教育廣播電台
  全臺第一 臺科大成立晶圓平坦化研究中心
 國立臺灣科技大學與日本九州工業大學及日本企業簽署合作備忘錄,將合作設立全臺第一個「晶圓平坦化創新研究中心」,除了進行晶圓平坦化製程的創新研發外,也將進行相關教育訓練,研究中心預定今年3月正式成立。

 臺科大與九州工業大學及日本荏原制作所合作設立「晶圓平坦化創新研究中心」,將致力於晶圓平坦化創新技術交換與合作研究,籌備團隊召集人、臺科大副研發長陳炤彰表示,臺科大推動海外實習,與日本九州工業大學已有多年合作,之前海外實習為期兩周,第一周先讓同學參加九州工業大學的半導體工業課程,第二周再到業界荏原制作所(EBARA)公司參加專業科技培訓,現在成立的晶圓平坦化研究中心,將是國內第一個針對晶圓平坦化製程的研發中心,未來除了進行半導體製程研究外,也將成為教育訓練平臺,加強學生實作能力。

 臺科大表示,晶圓平坦化研究中心將由日方提供經費及相關研究設備,也將有日本企業主管來臺擔任教育訓練師資,希望縮短產學落差,讓半導體與機械產業研究有更好連結,開創臺灣半導體製程研究的新發展。

 (徐詠絮)